半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
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该服务业园涌入了十余家半导体材料有关中小型行业公司,设计构思日工作力5000吨,要工作源自多种中小型行业公司的相溶污水。可能各中小型行业公司生产加工施工工艺一定的差异大,污水组分缜密变化多端,工作難度较高。
工业废水成份及因素
废液最主要包涵3大类:高质量含量设计废液(光刻胶、定影液等)、含氟废液(刻蚀多种道工序)和强酸强碱废液(洗多种道工序)。特别的的成分包涵异丙醇、四甲基氢脱色铵等难挥发设计物,以其氟化物、氟化物等硅化物空气环境有害特性。废液COD上下波动大(500-3000mg/L),氟化物质量含量100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
加工技术工作流程
利用"类型治理+分质治理+集中式深层次治理"的技术创新形式:
商家企业内部类别预加工:含氟污废水 分次提取并预加工
产业园区管道分为输送管操作系统
综和调池多样化水硬度
多级混凝土析出取除漂浮物和溶液
优质生物制品体现器(HBR)进行处理有机物的大气污染物
老化催化硫化硫化光降解难拆解有机的物
反融合体系实施脱盐除理
UV太阳辐射线消毒剂确保出水量应急
很快速设置了在线上监测方案操作软件和自行投药操作软件,怎样水质检测上下波动。
进而功能
系统的作业十年来,处理郊果相对稳定不靠谱。有水出COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氧化还原电位<5mg/L,总氮<15mg/L,到地面水Ⅳ类标,个部分循环于居民小区景观及加热塔保湿,循环率高于30%。第年降低优质水便用约十万吨,为居民小区企业大大节省水电费千余百万元。