半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
业务背景图案
该半导行业坐落于长角形地域,主耍生孩子8屏幕尺寸和12屏幕尺寸晶圆,日废气废蓄水量约2000吨。根据生孩子工序更复杂,废水面含有多种类难可降解有机会物和血本属阳离子,传统文化进行处理方式方法无法需要满足发展严格要求的废气细则。
生产废水含量及从何而来
焦化生活污水基本来自于二个流程:晶圆割切焦化生活污水内含很大硅粉和割切液使用量;生物碳化学机诫抛光剂焦化生活污水中含电解质溶液硅和磨研小粒;刻蚀清洁焦化生活污水内含氟化物、铜化合物等血本属;光刻工艺技术焦化生活污水则内含光阻剂等生物碳环境有机废气。水的质量特质是COD高(800-1500mg/L)、氟化物浓度值高(200-400mg/L)、漂浮物多且内含氢化物发生器血本属。
办理生产工艺步骤
主要包括"有机化学预办理+血生化办理+深度的办理"的整合工艺设备:
改善池均等化水体水流量
混疑沉垫清掉透明桌面物和胶体溶液材料
化学上的沉积法也可以除理氟化物,加药系统钙盐构成氟化钙沉积
油脂水解过酸池上升废液可血生化性
接觸防氧化池可降解设计生态破坏物
活性酶类炭树脂吸附塔对其进行进一步处里
膜转移系统性为了确保出液生活饮用水可靠
对于含铜电镀废水单个设立铝离子交易系统,回收处理有交换价值的金属件铜。
进而结果
产品成立后正常运作稳定性高,喷水COD<50mg/L,氟化物盐含量<5mg/L,铜阴离子盐含量<0.3mg/L,贴心的售后服务依据均强于我国《智能电子工业化的水污染源物进行尾气排放出规范规定》(GB 39731-2020)。今年可变少COD进行尾气排放出约300吨,氟化物进行尾气排放出约50吨,回收并铜不锈钢约2吨,保证 了环保社会收益与经济能力社会收益的共赢。