半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
光电器件中高档首测配套方案涉重废水处理方法——MVR直接循环往复零排业务
建设项目时代背景
半导体芯片器件品质首测項目,建设规模150m³米/天,是首届半导体芯片器件首测配合涉重废渣零排項目。首测节点的镀镍、镀铜、引线三层架构拆洗会所产生含镍含铜废渣,工业园区规定"无尾水外排",产水基本回收利用于产线。
土质症状与问题
废污水以含镍为核心(酸度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH振幅大(2–12),仍有光刻胶残存的一少部分有机的物。测封厂办公场地紧,符合要求处里设备征占小;零排预示着浓水没办法土石方工程很多,务必本市蒸发掉心得反馈控制。
整理工学院艺行车路线
总布局走"分质汇集 → 预处里除杂 → 化学工业凝固除镍 → 油烟净化器 → UF+多级RO → MVR禁止间歇挥发 → 空调蒸发器水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢加硫钠出现Ni(OH)₂积累,另加加硫钠纵深气体吸附稳定度镍(加硫镍Ksp比氢加硫镍更小,也能镍压到0.1毫克/升以内);
乳浊液喷水经多媒质油烟净化器+保安人员油烟净化器后进UF,再进4级RO,产水可以直接回产线清理;
RO浓水(含盐+残渣高价属)进MVR硬性再巡环汽化器,硬性再巡环能扛高含盐水垢,汽化器自建百度在线洗涤,材质堵;
MVR空气冷却水换回使用池子,蒸馏残液委外焚烧处理或是 危废处理处理,全生产车间无固体外排。
重要设配优缺点证明
MVR强硬不断反复相较于普通的降膜汽化掉,不断反复流动速度高、对流换热系数面不会结镍盐/碳酸盐垢,最适合公测本身"用水量很小但水质量杂"的的场景;一身化撬装制作占地赔偿比传统意义汽化掉塘+多效汽化掉方式小60%大于;其它异常的味道侧相互配套怪物滤池,把控制池和废水间的其它异常的味道获取后可降解成CO₂和水,以免公测厂邻近辦公区的其它异常的味道网络投诉。
解决实际效果与盈利能力
溢水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相较于《电镀锌造成的大气污染物尾气的排放的标准的标准》表三;另一个150万立方/天产水循环于公测产线除污,重复使用等量清新水;垃圾(化掉残液+污水)量比老式"积累+尾气的排放的标准"摸式减约70%。对富士康侧,公测项目流程环境保护准入条件卡点打架通;