某半导心片生产厂在晶圆工艺的过程 中，运行硅烷实行硅概念的生长，废气洗衣塔会产生高溶度含硅废污水。废污水兼备pH波动性大（2-11）、硅含碳量高的的特点，常用解决步骤易出現硅垢堵塞了一些问题。 废气营养成分及特征 废水处理主耍组成成分为： 融化性硅酸盐 ：SiO₂含量达1000-1500mg/L 硫酸钠/氢防氧化钠 ：洗洁塔酸碱性洗洁液使用量 小粒硅 ：纳米级级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：主料沉渣融入 加工艺具体流程 改革创新所采用"有级采和+膜活性炭过滤+多效蒸发结晶体"加工制作工艺 ： 第一与 ：用CaO调整pH至4-5，转换成硅酸钙奠定，硅清理率60%。 二次元与 ：加Na₂CO₃将pH增加至9，进而一个脚印悠长岁月中累计硅，并接用镁剂除砷。 超滤膜装置 ：0.02μm瓷器膜滤出纳米级级硅颗粒剂，通量稳固在80LMH。 MVR汽化器 ：浓缩造成高盐废污水，晶体出Na₂SO₄副类产品，水循环率超90%。 最终能够郊果 总硅从1500mg/L降到5mg/L以上 砷水平从0.8mg/L调至0.01mg/L 系统化无积灰正常运行低于2年 今年出售浓盐酸钠晶状体约800吨