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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆生产销售线模块化的超纯净水整体,一天产生含硅废污水150吨。废污泥中虽无天价属,但硅量高易积垢,且电阻功率率需做到18MΩ·cm能够工业园废水正确处理。原先的正确处理工学院艺没办法做到新施行的《智能工业园水废弃物物排出标准单位》(GB39731-2020)相当排出标准值。 工业废水成分表特色 注意生态破坏物 :氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm) 特殊的标准要求 :TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L 水环境形态 :低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物形状繁杂 进行处理施工工艺步骤流程 不断创新使用"梯级膜分开+电去铝离子"组成生产技术: 微滤预加工 :1μm工业陶瓷膜过滤大粒子硅,通量恢复80LMH 铁离子互转树酯 :D201大孔树脂材料选定性吸咐硅酸分子式 两级RO系统软件 :1段收购 率60%,其次段采用了高脱硼膜组件 EDI电去铝离子 :直流电压相对密度2A/m²,不断地快速清理残余物正离子 红外光谱杀菌消毒 :254nmUV紫外线灯线药量40mJ/cm² 系统薄弱环节 开发设计专门用阻硅剂(有机物胺类分手后复合物),延长膜危害生长期3倍 EDI电源模块转型升级流道开发,硅取除率上升至99.8% 在线播放硅数据测试仪(检测的範圍0.1-500μg/L)建立优质把握 加载功效 经两方监测: 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼量从8μg/L高于0.3μg/L 装置的回收利用率从原40%大幅提升至68% 膜换个过渡期延时至5年,年启动成本投入下降35%

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