该厂为84英寸晶圆生产销售线模块化的超纯净水整体,一天产生含硅废污水150吨。废污泥中虽无天价属,但硅量高易积垢,且电阻功率率需做到18MΩ·cm能够工业园废水正确处理。原先的正确处理工学院艺没办法做到新施行的《智能工业园水废弃物物排出标准单位》(GB39731-2020)相当排出标准值。
工业废水成分表特色
注意生态破坏物
:氢氧化铁硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm)
特殊的标准要求
:TOC<10μg/L,硼占比<5μg/L
水环境形态
:低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物形状繁杂
进行处理施工工艺步骤流程
不断创新使用"梯级膜分开+电去铝离子"组成生产技术:
微滤预加工
:1μm工业陶瓷膜过滤大粒子硅,通量恢复80LMH
铁离子互转树酯
:D201大孔树脂材料选定性吸咐硅酸分子式
两级RO系统软件
:1段收购 率60%,其次段采用了高脱硼膜组件
EDI电去铝离子
:直流电压相对密度2A/m²,不断地快速清理残余物正离子
红外光谱杀菌消毒
:254nmUV紫外线灯线药量40mJ/cm²
系统薄弱环节
开发设计专门用阻硅剂(有机物胺类分手后复合物),延长膜危害生长期3倍
EDI电源模块转型升级流道开发,硅取除率上升至99.8%
在线播放硅数据测试仪(检测的範圍0.1-500μg/L)建立优质把握
加载功效
经两方监测:
总硅从280mg/L调至0.05mg/L
硼量从8μg/L高于0.3μg/L
装置的回收利用率从原40%大幅提升至68%
膜换个过渡期延时至5年,年启动成本投入下降35%