该项目时代背景
沈阳某半导体器件厂生成进程中同样生成高硅生活污水(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生活污水(F⁻ 200-300mg/L)。二者生活污水混合型喂养而后容易出现氟硅酸橡胶胶体部分,传统的化学沉淀物中法仍未平稳合格。活动符合要求同时进行去掉硅和氟(尾气排放标准化标准化:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
电镀废水组成及因素
最主要的组成
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
收入
:晶圆刻蚀废污水、CMP磨研废污水、装备消毒水
治理技术方法
协同作战沉淀出的关键时期
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多级影响池
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1、级加药系统Ca(OH)₂转为CaF₂和CaSiO₃沉淀物;
第十二级加药PAC(整合氯化铝)强化装备斜管沉淀池。
固液提取关键期
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超滤膜模式
:选择0.02μm钻孔大小膜插件虚报冒领电解质溶液硅和微细石雕文化沉淀物。
淬硬层脱氟一阶段
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活性酶氧化物铝气体吸附塔
:残渣氟亚铁离子吸收消除。
从而视觉效果
出液SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远远超过我国细则。
反渗透装置系统的通量安稳在15LMH,无机化学除污定期拉长至60天。
污泥处理经压滤后含水分率<65%,可按应该固体废物处理处理。