该晶圆制作业厂靠近西北地段，通常产生8寸大半导体器件晶圆，平均工业废水排污量约800吨。鉴于产生环节中操作大批量盐酸确定晶圆蚀刻，诱发工业废底层的水中氟化物溶液浓度万代高达200-300mg/L，远超国排污标（10mg/L下列）。 生活污水因素及收入 污废水 大部分来源于两个部门： 晶圆蚀刻生产工序 ：含高酸度氟化物（HF）、盐酸及少量出巨资属 生物机械设备抛光处理（CMP）污水 ：含nm级硅粒状、无机络合剂 机器设备洗涤废水处理方法 ：含异丙醇、化学需氧量等无机物 净化处理施工工艺操作流程 通过"化学上的沉定物+混凝土沉定物+深度1过滤程序"三級处置装置： 一級整理 ：加药系统氯化钙和氢氧化的钙，造成氟化钙奠定，氟化物取除率达85% 二次净化处理 ：加PAC（汇聚氯化铝）和PAM（聚丙烯塑料酰胺），剔除橡胶胶体部分态废弃物物 三級治理 ：借助多材质净化器和灵活性炭吸附物吸附物，满水后氟化物酸度不稳定性在8mg/L下列 关键因素机械还包括：pH会自动可以调节软件、斜管放置池、板框过滤机（污泥处理脱水烘干）。 终结作用 工程电脑运行五年期监测网数据源展现： 氟化物评均密度：7.2mg/L（压低欧洲国家的标准） COD清除率：92% 废水含水分率：≤65% 年回收分类处理氟化钙副商品约150吨，改变资源量化运用