半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
产品图片背景
该品牌为高度遥遥领先的半导体材料测封品牌,座落在粤港澳大湾区形国家,其主要去精致鑫霖环保芯片的划区和装封测试软件。鉴于地区健康条件标准,品牌而定制定一个废渣0排放物建设工程。大型项目于22年再启动,202一年6月建造投入使用,办理企业规模为200吨/日,总投资的约2000上万元。
废渣组成及从何而来
这项基本原则划区废水处理方法兼有以內显著特点:
高氧化还原电位氟化物,大部分来自五湖四海晶圆切割工作后的的清洗工作,氟阴离子氧化还原电位万代高达150-200mg/L
含有纳米技术级硅粉粒子,粒级多在100-500nm互相
有机化学负荷率较高,COD在500-800mg/L
带有进样器血本属如铅、镉等
电阻率高,经常在2000-3000μS/cm
处置技艺程序
为确保零的排放工作目标,生产工艺制定比较偏重考虑到焦化废水区分采集和资源共享回笼:
生活污水类型抽取控制系统
:将含氟焦化废渣与另外的焦化废渣分割整理
无机化学沉淀自己除氟
:使用两极钙盐积淀物法,结合高积淀物池
高級钝化处理
:臭氧的危害促使脱色挥发难治理有机酸物
膜萃取控制系统
:选择DTRO碟管式反渗透装置到,提液质数和合数为10倍
汽化结晶体
:MVR机械厂蒸气再缩短冷疑器器处里浓水
粗糙整体
:将结晶体盐皮肤干燥后有所作为工业企业副產品外售
办理实际效果
整体电脑运行数据报告体现 :
氟化物洗去率>99.9%,出水出水氟阴阳离子<1mg/L
COD总避开率>98%,溢水COD<20mg/L
水物资回收利用率>95%,仅所产生多量晶体盐
一年废物回收利用高品保证回收水约3万吨
晶粒盐色度以达到企业级基准,达到能源化进行
产品仅仅实行了生产废水0排放出,还完成资源的二手回收创建了约80万/年的木制托盘收益率。